微小氣體流量計核心原理與技術(shù)分類:
微小氣體流量計通過精準測量氣體流動特性實現(xiàn)流量控制,常見技術(shù)原理及特點如下:
熱式質(zhì)量流量計
原理:基于熱傳導(dǎo)效應(yīng),通過測量氣體流過加熱元件時帶走的熱量計算流量。
特點:
結(jié)構(gòu)簡單,安裝便捷,對小流量敏感(可測低至幾毫升/分鐘)。
無需溫度壓力補償,但測量精度受氣體成分和溫度影響。
典型應(yīng)用:實驗室氣體分析、半導(dǎo)體制造中的小流量氣體測量。
容積式流量計
原理:通過測量氣體充滿和排出固定容積的次數(shù)計算流量。
特點:
測量精度高,不受氣體密度和粘度影響,可測高粘度氣體。
結(jié)構(gòu)復(fù)雜,體積大,對氣體清潔度要求高。
典型應(yīng)用:高精度、高粘度微量氣體測量(如特殊化工氣體計量)。
紅外氣泡法流量計
原理:利用氣泡體積與紅外檢測計算流量。
特點:
適用于連續(xù)或非連續(xù)氣流,具備自研溫度/壓力補償功能。
多通道組合模式,軟件同步記錄數(shù)據(jù),采樣時間最快每秒1次。
典型應(yīng)用:催化產(chǎn)氫測試、光催化分解水產(chǎn)氫等場景。